სუბსტრატი:UV შერწყმული სილიციუმი
განზომილებიანი ტოლერანტობა:-0.1 მმ
სისქის ტოლერანტობა:± 0,05 მმ
ზედაპირის სიბრტყე:1 (0.5)@632.8 ნმ
ზედაპირის ხარისხი:40/20
კიდეები:მიწა, მაქსიმუმ 0.3 მმ. სრული სიგანის ღერო
სუფთა დიაფრაგმა:90%
ცენტრირება:<1'
საფარი:Rabs<0.25%@დიზაინის ტალღის სიგრძე
დაზიანების ზღვარი:532 ნმ: 10 ჯ/სმ², პულსი 10 ნმ
1064nm: 10J/cm², 10ns პულსი