სუბსტრატი:სურვილისამებრ
განზომილებიანი ტოლერანტობა:-0.1 მმ
სისქის ტოლერანტობა:± 0,05 მმ
ზედაპირის სიბრტყე:1 (0.5)@632.8 ნმ
ზედაპირის ხარისხი:40/20
კიდეები:მიწა, მაქსიმუმ 0.3 მმ. სრული სიგანის ღერო
სუფთა დიაფრაგმა:90%
პარალელიზმი:<30”
საფარი:Rabs<0.3%@დიზაინის ტალღის სიგრძე